
「重イオン注入」短期研究会報告
開催日:1977年11月10日 (November 10, 1977)
編集:木村逸郎(京大炉)、横田勝弘(関西大工)
目次
緒言 /京大炉 木村逸郎
重イオン照射による照射損傷 / 京大炉 吉田博行 /p.1
高融点金属に注入された軽イオン元素のイオンビーム解析 / 原研 小沢国男 /p.7
超電導金属へのイオン注入 / 阪大・基礎工 蒲生健次、難波進 /p.11
鉄へのイオン注入 / 理研 岩木正哉 /p.16
イオン注入層からのひ素添加シリコン中へのガリウムの拡散 / 関西大・工 横田勝弘・田村進・堀内謙司、阪大・基礎工 蒲生健次・難波進、 筑波大 升田公三、理研 岩木正哉京大炉 石原信二・木村逸郎 /p.19
クラスターイオンビーム蒸着 / 京大エ 高木俊宜、山田公、松原覚衛 /p.25
付録 京大高中性子束炉建設に伴う放射重イオン注入装置の移設等についての要望書 /p.32