１.概要
Zygo Newview 5032 光学プロファイロメーター
非接触光学式、走査型白色干渉計。表面を非接触でnmの高さ分解能で表面形状が3次元マップで分かる。

２.特徴
測定範囲
　垂直分解能0.1nm程度（数μmの段差も可能)。

３.設置場所
中性子導管準備室

４.提出書類
出張・実験実施計画書

５.装置担当者、連絡先
日野　正裕　hino.masahiro.2x*kyoto-u.ac.jp　(*→＠)