１.概要
本装置は、フェノムワールド社製の卓上走査型電子顕微鏡“proX PREMIUM”であり、最大10万倍でのSEM画像観察、EDSによる元素分析が可能である。汎用性が高く広範な分野での利用が可能なSEM装置であるとともに、ホットラボ内に設置されているため照射試料や核燃料物質を含んだ試料の分析など特殊な試料に対する分析も可能である。
２.特性
・80～100,000倍の倍率での観察が可能（分解能 14 nm）
・最大加速電圧 15 kV
・光学顕微鏡付き(カラー、20～135倍)
・元素分析（C〜Am）及び元素マッピングが可能
・CeB6電子銃による高画質観察が可能
・帯電しやすい試料も前処理不要で観察可能
３.設置場所
原子炉棟ホットラボ 第2暗室
４.提出書類
実験・出張計画書、管理区域立入願
５.装置担当者、連絡先
高宮幸一 takamiya.koichi.2u*kyoto-u.ac.jp (→@）
